仪器配置：

1、光源：6KWTXS-HE高强度Cu转靶点光源，焦斑尺寸： 0.02 ~ 2 mm；

2、HR Optics：Gobel Mirror聚焦光，2次反射单色器ACC2(Ge022，分辨率可达0.011°),2次反射单色器ACC4(Ge004，分辨率可达0.004°)，0.02 ~2 mm 准直器。

3、样品台：五轴高精度尤拉环（带真空吸盘与激光视频定位），可实现地图式微区扫描和高通量扫描
1）5轴尤拉环样品台Centric Eulerian Cradle (CEC)：
x、y：+/- 40 mm样品移动；
z：高度对准；
Phi：360°旋转;
Psi：-11°-98°;
2）带有倾斜样品台Tilt Stage：电动Zeta/Xi

4、衍射光路四光路自动切换系统：Pathfinder  Optics（包含自动狭缝，2-b Ge分析晶体，equatorial soller 0.2°）。

5、双探测器技术：Scintillation点探测器与LynxEye快速RMS阵列探测器同时安装在测角仪上自动切换：
1）0D模式适用于表界面、多晶涂层和外延膜样品
2）1D模式适用于粉末超快速扫描，采用反射（Bragg-Brentano）测量，以及用于外延膜倒易空间mapping；

6、薄膜用变温样品台：

此仪器配有高低温系统TC-DOME，可覆盖-150°C到450°C的低温段及室温到1100°C的高温段的薄膜样品测试。

主要功能：
1、高分辨率分析：

摇摆曲线rocking curve、面内/面外2theta-omega、phi scan、倒易空间mapping（RSM）、快速RSM分析；
2、多晶薄膜分析：

1）X射线反射率（XRR）：用于提取从简单的基底到高度复杂的超晶格结构等多层样品的厚度、材料密度和界面结构信息。

2）掠入射衍射（GID）：晶相表面灵敏识别及结构性质测定，GI应力分析、晶体取向分析，包括微晶尺寸和应变。

3、微区分析：

残余应力分析、织构和极图、微区X射线衍射分析；

特色功能：
1、单色化光源：此仪器配有Ka1单色器，能滤除掉Ka2波长X射线，提高分辨率；

2、自动切换的双探测器：LynxEye探测器和阵列计数探测器可大幅度提高测试强度及分辨率，同时实现外延膜的高分辨分析及常规不规则样品的微区分析。

3、高分辨原位分析：温度范围：-150度到1100度；真空或氮气的可变气氛。