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光谱实验室

近常压X射线光电子能谱仪

仪器编号:

联系人:陈中

联系方式:18998382617

地址:西湖大学(云谷校区)E10-127

开放范围:自主操作:校内;委托测试:校内、校外 Independent-operation :Internal ; Commissioned Service :Internal/External

  • 仪器编号
    规格
    生产厂家 SPECS+(PHI) 型号 NAP-HAXPES+(PHI GENESIS)
    制造国家 中国 China 分类号
    放置地点 E10-127 出厂日期 2025/01/09
    购置日期 2024/10/11 入网时间 2025/01/09
    主要规格及技术指标 "1 分析腔配备分子泵以及前级泵,经过72小时烘烤及48小时降温后,真空优于5×10-9 mbar
    2 快速进样腔配备分子泵和无油干泵(前级泵),经过72小时烘烤及48小时降温后,真空优于5×10-8 mbar
    3 工作压力最大可达25 mbar
    4 Ag 3d峰计数率:在UHV条件下,可保证验收指标为70 kcps,;在10 mbar N2条件下,可保证验收指标为7 kcps,在25 mbar N2条件下,可保证验收指标为0.5 kcps,
    5 Al/Ag/Cr 三个靶正常切换,测试XPS正常
    6 四轴样品架移动范围:
    X = ±12.5 mm, Y = ±12.5 mm,Z 方向范围随系统配置,P = ±180° polar(极角)
    7 配备150 W红外激光加热器,在25 mbar N2条件下,样品温度最高可达1000 ℃;
    8 配有液氮冷却,样品最低温度可到150 K
    9 荷电中和功能测试:能量范围为1 eV-500 eV;束流可达1 mA;配备自动荷电中和软件包,自动调节。
    10 离子刻蚀功能测试:能量范围为200 eV-5 keV,束斑尺寸最小可达125 μm,束流0.4 μA/ 3 keV;大光斑模式下离子束流:保证指标7 μA @ 5 keV,可达到指标8μA@5keV;配备深度剖析自动控制软件包。
    11 残余气体分析质谱仪,质量范围,1-200amu
    12 近常压电化学XPS测试:配备三电极和两个电解液管道,动态电化学反应,实现固液界面电化学反应的实时测试;样品放置在四轴样品架上;气压范围:2-1000 mbar。
    13 手套箱测试:单工位2个手套设计,配备有气体净化系统,残余氧气、水含量<1ppm;工作压力调节范围:±15mbar;"
    主要功能及特色 "原位反应过程监测
    反应气氛下的实时监测:可在一定压力的气体环境中,对材料表面在特定反应气氛下的动态变化进行原位监测,如在催化反应过程中,实时观察催化剂表面的化学成分和电子结构的变化。原位分析室气压范围宽,从超高真空到25 mbar均可调节,且可引入氧气、水蒸气、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氢气等非腐蚀性气体,为不同反应条件下的样品研究提供了灵活的气氛控制环境。
    温度控制下的反应研究:配备红外激光加热器等装置,可在不同温度条件下进行样品的加热处理,并在加热过程中实时监测样品表面的化学变化,研究温度对表面反应的影响。
    气固、液固界面研究
    气固界面分析:适用于研究气固界面的相互作用,如气体在固体表面的吸附、解吸过程,以及气体与固体表面发生的化学反应等,可为催化、表面化学等领域提供重要的实验数据。
    液固界面研究:突破了传统XPS只能在超高真空环境下工作的限制,能够对液态环境下的固体表面进行研究,如研究液体中的物质在固体表面的沉积、吸附等过程,对于生物医学、材料科学等领域的研究具有重要意义。
    深度剖析与界面分析
    深度剖析:配合离子束剥离技术,可对样品进行逐层剥离,从而获得元素的组成、百分比及化学环境随深度的变化关系,实现对薄膜材料等的深度分析。
    界面分析:通过变角XPS技术等手段,能够对材料的界面进行分析,研究界面处的元素分布和化学状态,对于多层膜材料、复合材料等的界面研究具有重要作用。"


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