品牌： ULVAC-PHI                  型号： NanoTOF 3                放置地点 云谷校区学术环E10-127 

主要规格及技术指标 

1. 质量分析器

1) 飞行距离2 m，可用于检测带正电或带负电荷的二次离子；

2) 质荷比范围：1～12000 amu以上；

3) 质量精度：< 1 mu for m < 100 u; < 10 ppm for m > 100 u；

4) 探测极限：ppm – ppb量级；

5) 空间分辨率：水平空间分辨率：≤ 50nm；

6) 二次离子接收角：≥21º；

2. 液态金属离子源 LMIG

1) 源类型：场发射Bi源；

2) 离子束能量范围：15 ~ 30 keV；

3) 最大离子束流：Bi初级离子源≥ 30 nA；

4) 最小束斑直径：Bi+ 或Bi3++初级离子束，脉冲模式≤ 50 nm, 聚束模式≤ 0.5 µm （质量分辨率最高的条件下）；

3. GCIB氩气团簇离子枪

1) 离子束能量范围：1.0 keV ~ 20 keV；

2) 最大束流 (DC)：≥ 20 nA @ 20kV, ≥ 10 nA @ 5kV；

3) 最小束斑 (DC)：≤ 50 µm。

4. Cs 离子枪

1) 束流能量：250 eV ~ 2 keV；

2) 最大束流 @ 2 kV：≥ 200 nA ( ≤ 60µm )；

3) 最大束流 @ 0.5 kV：≥ 40 nA ( ≤ 45µm )。

5. 双气体(Ar/O2)离子枪

1) 束流能量200 eV 到 3 keV；

2) 最大束流 @ 2 kV≥ 600 nA @ ≤ 120 µm (Ar+ or O2+)；

3) 最小束斑≤ 50 µm；

4) 束流能量10 eV 到 20eV；

5) 最大束流 @≥ 3 nA。

6. 串联质谱 MS/MS

1) MS1中前驱特定离子质量范围：m/z 100 至 > m/z 2,000；

2) 校准的MS2谱图的质量精度：<10 ppm

3) 串联质谱 MS2质量分辨率 (m/Δm)：> 3000（FWHM）。"

主要功能及特色 "1、质谱采集；2.二维成像分析； 3.深度剖析及3D成像

主要用于材料（半导体、钙钛矿、电池等）、化学、生物医学、地质/考古、冶金、环境、人工智能等固体材料的质谱表征，可实现纳米尺度下，对相关材料进行样品组成分析以及组分/元素的深度分析或成像。

Characterizaitons of MS analysis, component/element depth analysis and 2D/3D images can be provided. This MS analysis is highly relataed with materials， chemistry, biomedical science areas. "

主要附件及配置 （1）TRIFT质量分析仪：高分辨、高灵敏度，不仅可以区分常规离子，而且对于H、D具有很好的识别能力；

（2）TOF质量分析器：实现MSMS串级质谱分析能力；

（3）分析源： Bi源（可以选择Bi3++离子或Bi+离子），可以产生原子离子，还可以溅射出分子离子峰；

（4）溅射源： Cs 枪、GCIB枪、Ar/O2枪

（5）惰性样品传输管